BALZERS, Liechtenstein - Samedi 5 Octobre 2013
Oerlikon Advanced Technologies, un leader dans la fourniture
d’équipements de dépôt physique en phase vapeur, a aujourd’hui établi
un nouveau standard avec le CLUSTERLINE® 300 qui devient le premier
système 300 mm en production au monde à appliquer la métallisation de
face arrière sur les tranches minces pour les dispositifs de
puissance.
Suite à sa qualification par un fabricant de dispositifs de puissance
de premier plan, Oerlikon a reçu de multiples commandes du
CLUSTERLINE® 300 pour la production de dispositifs de puissance 300
mm.
Les nouveaux processus développés, destinés aux dispositifs tels que
les transistors à effet de champ métal-oxyde semi-conducteur
(MOSFET), offrent le même comportement que ceux qualifiés pour les
tranches de 200 mm et permettent aux fabricants de dispositifs de
puissance de produire des appareils de manière bien plus efficace.
Avec le CLUSTERLINE® 300, Oerlikon a réussi à surmonter les défis
importants associés à la transition entre la fabrication de
dispositifs de puissance 200 mm et ceux de 300 mm sur les tranches
minces.
L’adaptation de la production de tranches de 300 mm pour les
dispositifs de puissance requiert des solutions innovantes ainsi que
l’ajout d’un niveau d’automatisation supérieur et de capacités de
manipulation des tranches.
Une expérience étendue
Il y a plus de 10 ans, Oerlikon a qualifié les premières solutions
pour la fabrication de dispositifs de puissance 200 mm sur des sites
de clients. Aujourd’hui, la capacité de manipulation et de traitement
des tranches du CLUSTERLINE® 200 représente la solution établie chez
tous les plus grands fabricants de dispositifs de puissance ainsi que
dans les fonderies. Oerlikon a la réputation de pouvoir surmonter les
défis technologiques afin de fournir les solutions les plus
innovantes qui procurent le plus haut niveau de productivité et le
coût de possession le plus faible. La longue expérience d’Oerlikon en
matière de processus de production de dispositifs de puissance a été
déterminante dans l’obtention de qualification accélérée et a permis
de réussir la transition de 200 mm à 300 mm dans le cadre de la
fabrication en grande série.
La solution d’Oerlikon pour les applications de métallisation de face
arrière – par exemple gravure Ar/H2, AI, Ti, NiV (Ni), Ag (alliage
d’or), qui ont prouvé leurs capacités dans la production de tranches
vierges extrêmement minces et de tranches minces sur support.
Pour le traitement Al frontal épais, le CLUSTERLINE® 300 offre des
capacités supérieures, incorporant notamment une propriété
intellectuelle unique développée par Oerlikon. Un exemple de cette
capacité est illustré par les modules à dépôt physique en phase
vapeur par pulvérisation fortement ionisée Ti/TiN.
« Nous sommes ravis d’offrir à nos clients une solution complète pour
la fabrication de dispositifs de puissance 300 mm avec le
CLUSTERLINE® 300. La plate-forme offre à la fois le traitement Al
frontal épais et la métallisation de face arrière sur les tranches
minces pour la fabrication de dispositifs de puissance 300 mm. Cette
annonce représente une validation importante de nos solutions en 300
mm de la part d’un fabricant de dispositifs de puissance de premier
plan. Nous comptons bien profiter de ce succès et continuer de nous
concentrer sur la fourniture de produits offrant la plus haute
productivité et le coût plus faible par tranche », a déclaré Andreas
Dill, Directeur général du segment Technologies avancées chez
Oerlikon.
Le texte du communiqué issu d’une traduction ne doit d’aucune manière
être considéré comme officiel. La seule version du communiqué qui
fasse foi est celle du communiqué dans sa langue d’origine. La
traduction devra toujours être confrontée au texte source, qui fera
jurisprudence.
Contacts
OC Oerlikon Management AG
Burkhard Böndel
Responsable des communications du groupe et des relations avec les
investisseurs
Tél. : +41 58 360 96 02
Télécopie : +41 58 360 98 02
pr@oerlikon.com
Oerlikon Advanced Technologies AG
Sven E. Jarby
Responsable du marketing et des communications
Tél. : +423 388 4878
Télécopie : +423 388 5426
media.systems@oerlikon.com
Permalink: http://www.me-newswire.net/news/8699/fr
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